RF MEMS开关是采用MEMS技术的新型微波设备之一。 射频开关的发展方向是大功率,高可靠性。 它具有许多优点,例如低损耗,低功耗,出色的线性度,小尺寸和易于集成。 介绍了其研究现状和性能。 研究了相关的研究和专利。 提出了一些改善功率和可靠性的措施。 分析了应用领域和主要问题。 介绍了发展趋势。