通过化学溶液沉积法制备了高质量的Mn1.56Co0.96Ni0.48O4(MCN)薄膜。 研究了不同层的薄膜的微观结构和电性能。 当膜层增加时,晶体质量和晶粒尺寸均改善。 与XRD实验结果a(薄膜)相比,理论晶格常数acal略小。 电阻率的温度依赖性可以通过抛物线状态密度的可变范围跳变模型来描述。 随着膜层的增加,MCN膜的灵敏度和稳定性增加。 良好的负温度系数热敏电阻特性的优点使MCN膜非常适合热传感器。