叉指微悬臂梁热成像系统的光学原理分析,刘明,董立泉,应用波动光学理论对叉指形微悬臂梁热成像系统光学读出部分的工作原理进行了详细的推导。其光学读出系统的设计目的是将微悬臂梁变