光学薄膜的等离子体离子镀的研究

根据薄膜沉积过程等离子体对光学薄膜膜料蒸气分子或原子的作用,建立了低压等离子体离子镀设备,并对常规光学薄膜,如硫化物、氧化物薄膜以及多层膜器件进行了系统的研究,对所制备薄膜样品的透射光谱、吸收、散射以及膜层的聚集密度等进行了全面的测试分析。实验研究表明,低压等离子体离子镇可大大提高常规光学薄膜的光机性能。