我们在熔融石英芯片内部制造并表征了原型片上3-D微型加热器,该加热器与微流体通道配合使用。 通过增强的飞秒激光湿法刻蚀,然后进行液态金属的微模具注入Craft.io,制造了尺寸为π×1002×1120μm3的螺线管型金属微加热器,它与线性微流体通道朝外缠绕。 该微型加热器具有出色的性能,例如精确的电流温度可控制性(温度范围从0°C到130°C),快速的加热/冷却过程(加热过程开始时高达16°C / s和15.8°C) / s(在冷却过程开始时),并且温度分布均匀。 这项工作不仅为生物或化学应用提供了高质量的微型加热器,需要严格的温度控制能力,而且为制造全面的真正的3D芯片实验室设备和微机电系统提供了一条可行的途径。 。