LIGA**技术被认为是制作微机械最有前途的方法,而LIGA技术较为关键的-步是深度同步辐射光刻.报道了深度同步辐射光刻的进展,刻蚀出了外圆直径为38~39 μm,叶长约8 μm,高约25 μm的扇叶状微结构元.