我们介绍了一种基于反射式Fabry-Perot模态干涉仪(FPMI)的超小型全硅高温传感器。 我们的FPMI由微腔(类似于4.4微米)直接制成直径小于10微米的光纤锥形探头制成。 它的感测头是小型的单模-多模光纤配置,无需拼接。 FPMI的感应机制是端面反射的基本模式和激发的高阶模式之间的干扰。 在1550 nm波长附近,它的温度敏感性类似于20 pm /°C。 这种传感器可以在具有超大温度梯度的恶劣环境中工作,但由于其独特的几何形状和较小的尺寸而占用的空间很小。