采用溶胶-凝胶法在石英玻璃基板上合成了钴掺杂的氧化锌薄膜。 通过XRD,FTIR,SEM,二维傅立叶变换和UV-VIS的分析表明,当钴掺杂浓度小于2at%时,薄膜具有较好的c轴取向。在可见光区域,结构,表面光滑,致密,结构和平均透射率均超过87%。 研究还表明,随着钴掺杂浓度的进一步提高,XRD峰(002)和PL的强度逐渐消失,不再是典型的六方纤锌矿结构,而SEM和SEM分别为六方纤锌矿结构和六方纤锌矿结构。傅立叶变换图像表明膜的表面变得更粗糙,此外,紫外带中的光学带隙和透光率显着变小。