报道了一种对类金刚石薄膜红外透射率曲线最小二乘法拟合的方法,确定类金刚石薄膜的红外光学常数─—折射率、吸收系数以及薄膜厚度及表面粗糙度。介绍了相应的数学模型,并给出了对类金刚石薄膜样品的实测及拟合结果。