本文提出了根据多个周期的Δ、ψ轨迹来判别薄膜折射率非均匀性的原则。实验结果表明CeF_3、LaF_3、NdF_3薄膜基本上是均匀的。而热基板沉淀的Zns不但具有两侧表面层,还具有折射率渐增的中心层。文中还分析了用常规椭偏法测量ZnS等薄膜时误差的分布和大小。