暂无评论
ASML SECS Manual,对于Semi Standard的学习非常有帮助
SECS 标准05,030,有兴趣研究半导体通信的朋友可以下载
SEMI组织制定的SECS-II标准,用于半导体生产系统CIM与设备机台间通过网口进行通信
SECS通讯协议介绍,如果想从事半导体行业自动化开发的话,可以了解一下
这个是很牛掰的MES公司提供的程序代码,需要适合开发使用
SECSE30-1000,Genericmodelforcommunicationsandcontrolofmanufacturingequipment
关于半导体SEMI SECS SECS-I SECS-II GEM HSMS的一个程序,采用SEMI E37的协议规格编程,来完成和半导体生产设备的通讯
secs gem for windows and linux
详细介绍了SECS/GEM协议的组成,通信方式,适用于初学者学习
SECSE5.PDF,专门用于MES开发的协议文档。主要是定义了几百个Sn,Fn通讯固定格式。对于MES系统开发者来说,是编码过程中参照和核对格式的必备手册。
暂无评论