本文采用导模法生长技术,成功制备了高质量掺Si氧化镓(βGa2O3)单晶,掺杂浓度为2×1018 cm-3。晶体呈现淡蓝色,通过劳厄衍射、阴极荧光(CL)及拉曼测试对晶体的基本性质进行了表征,结果表明晶体质量良好。紫外透过光谱证明该晶体的禁带宽度约为4.71 eV。此外,在剥离衬底上,采用电子束蒸发、光刻和显影技术制备了垂直结构的肖特基二极管,平均击穿场强 EAva为2.1 MV/cm,导通电阻3 mΩ·cm2,展示了优异性能。