我们研究了一种完全无机透明的阻挡层,该阻挡层由使用等离子体增强化学气相沉积的SiNx层和通过等离子体气相沉积的非晶态铟-锌-氧化物(a-IZO)层交替组成。 完全的无机薄膜阻挡层显示较低的水蒸气透过率(WVTR)为5.21 x 10(-4)g / m(2)/天,通过钙(Ca)腐蚀测试评估了三倍的SiNx / a-IZO堆叠。 结果,用层压的SiNx / a-IZO势垒封装的有机发光二极管(OLED)在环境和驱动条件下显示出更长的连续工作寿命。 这意味着完全无机封装的结构非常适合阻止水和氧气的渗透,并且它们集成的OLED的亮度衰减时间得到了很大程度的改善。 这些归因于通过引入具有结构解耦,曲折路径形成以及吸水或吸氧剂功能的a-IZO膜来改变阻挡性能。