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提出了基于微细加工的移动掩模光刻(MML)法制作四棱锥反射镜的方法。通过移动掩模光刻,在光刻胶上得到棱锥结构,然后将其线性传递到硅基底上,进行金属化处理以提高反射率。棱锥结构的底面尺寸为1 mm×1
光栅位移测量在电感生产中的应用、电子技术,开发板制作交流
今年8月作者在美国逗留期间,考察了X射线多层膜反射镜的开发和应用,本文作一简单介绍。
本文第一部分讨论了真空紫外和紫外激光器适用的各种反射镜基片和涂层材料的一般特性。这一部分集中探讨波长复盖在200埃左右到大于3200埃范围里应用的具体材料。
为了获得均匀化、平顶的高功率激光束,设计了一种以平面镜为输出镜、凹面镜为全反镜的新型谐振腔结构,由于凹面镜的周期摆动使得输出光束强度分布得到一个时间上的均匀化,得到近似的“平顶”高斯型。建立了理论模型
非球面能够在不增加系统中光学元件数目与独立像差数的条件下,增加系统优化的自由度,在提高系统性能的同时降低系统复杂度、减轻系统质量。因此非球面被越来越广泛的应用于空间相机、天文望远镜、光刻物镜、光电跟踪
用XPS、AES、SEM等表面分析方法对He-Ne激光管反射镜膜的元素成分、浓度、价态以及表面形态在寿命过程中的变化作了研究,证明镜膜的损伤和沾污是激光管失效的重要因素。
在千焦耳拍瓦高功率放大系统设计中, 激光脉冲的时空和光谱整形技术一直受到人们的广泛关注。利用经光学微纳超精细加工而成的电介质结构反射镜可在高功率条件下实现啁啾脉冲的光谱整形。在光谱整形介质结构反射镜的
根据初级波面像差理论,推导了自准检测法中平面反射镜的误差允许值.所得结果既适用于轴上,也适用于轴外.同时指出了Burch的结果的局限性.
根据极紫外成像器观测地球周围等离子层的要求,设计了极紫外Mg/ Si C双功能多层膜反射镜,并分析了粗糙度、膜厚精度和光学常数变化对反射率的影响。结果表明:5°入射的双功能多层膜反射镜在30 .4 n
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