本文通过大量的文献资料,评述汽车MEMS(微机电系统)传感器的应用现状及发展趋势,其中重点介绍几种传感器的原理和结构,同时对该领域的产业化也进行了探讨。
关键词:汽车传感器、微机电系统、力敏器件。
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