SECS GEM是SEMI国际半导体产业协会制定的半导体标准规范之一，用于指导半导体设备和工厂之间的信息交互和控制。在半导体工厂的自动化生产中，采用SECS GEM协议规范，是实现MES系统自动化生产和管理的必要条件。本文将介绍SECS GEM协议规范的主要内容、标准规范和应用示例，并探讨其在半导体工厂自动化生产中的重要作用和发展趋势。