SJ 21497-2018是声表面波器件制造的基本标准，其中光刻工艺是关键环节。本文对SJ 21497-2018中关于光刻工艺的具体要求进行解读和分析，旨在帮助制造厂商更好地掌握光刻工艺技术，提高声表面波器件制造的质量和效率。