扫描电镜，扫描电镜主要用来观测固体表面形貌，在这点上很像光学显微接。但是它的放大倍数比光学显微镜高，并且它的景深很大。特别适用于观测断裂表面。现代的扫描电镜，不仅能利用电子束与试样表面的相互作用产生的信息来观察形貌，而且还能获得晶体方位、化学成分、磁结构、电位分布及晶体振动方面的信息、来研究试样的各种持性。