SECS/GEM通讯协议是半导体设备与MES进行通信的关键模型,该协议基于GEM SEMI标准,并依赖于SECS-II定义交换消息、SECS-I定义RS-232通信以及HSMS通过TCP/IP进行通信等低级别标准。本文将深入探讨SECS/GEM协议在半导体通讯中的重要性以及其与MES的通信方式。了解SECS/GEM协议的应用,有助于提高半导体制造设备的通信和控制效率。