高速离子注入半导体材料的热效应分析(1993年) 下载 Sysuzwq 1 0 pdf 2024-07-06 12:07:07 概述了高速离子注入技术的特点,并对其在靶材表面引起的温度场分布进行了数值模拟。 立即下载 微信扫一扫:分享 微信里点“发现”,扫一下 二维码便可将本文分享至朋友圈。