为了弥补传统矿用瓦斯流量测量装置的不足，实现更加准确地瓦斯抽采量动态连续监测，提出针对煤矿井下工况特性，以时差法为流量测量原理，研制一款基于MS1030的矿用超声波气体流量计。设计了以国产高速测量芯片MS1030为核心、STM32F100为主控制芯片，并配有激励驱动电路、信号调理电路等模块的超声波气体流量硬件系统，开发了系统控制软件，完成了试验样机的研制，并通过标准设备对样机进行了检定。检定结果表明：矿用超声波气体流量计具有精度高，重复性好的特点，为煤矿井下瓦斯抽采监测系统提供了有力的流量监测装备。