微纳器件是微纳米尺度上的电子器件，它与集成电路（IC）和微电子机械系统（MEMS）紧密相关，是现代信息技术和微电子技术的一个重要分支。本课件来自北京大学，由张海霞教授主讲，主要介绍了微纳器件的相关知识点，以及MEMS的发展历史、创新世界、中国与世界的竞争对比等。微纳器件的原理和应用是当前科技前沿的研究内容。在课件中，首先介绍了微纳技术的历史与现状，然后通过一系列的主题讲座，深入探讨了微纳器件从概念到应用的各个方面，包括微型加速度计、微型压力传感器、微型磁场传感器、数字微镜阵列、生物MEMS器件、新型微纳器件及其创新应用等。这些内容对于学生全面理解微纳技术的研究现状和发展方向，掌握典型微纳器件的原理和应用至关重要。课程涵盖了微纳器件的多个重要方面，例如微纳企业参观、企业家讲座以及期末大报告等，不仅要求学生具有扎实的理论知识，还要求学生能够将理论知识应用于实际，提高学生独立思考和创新能力。课程内容详细地介绍了MEMS的发展历史，从晶体管的发明开始，1947年晶体管的诞生，到集成电路的发明以及集成电路的进一步发展。特别提到了“硅谷神话”，即美国加利福尼亚州的硅谷地区，它是全球半导体工业和电子工业的集中地，很多著名的高科技公司，如英特尔、苹果、惠普等，都在此地区发家。课程中也提到了著名的科学家，如威廉·肖克利，他对半导体物理学的研究和晶体管的发明有着重大的影响。肖克利实验室股份有限公司的建立，也标志着硅谷地区的半导体产业开始形成。课程中的“超越摩尔定律”这一部分，让学生了解到电子元件微型化、集成度增长速度减缓的趋势，以及微纳器件技术正试图突破现有技术的局限。同时，微纳器件的教学内容也介绍了MEMS在生物医学、通信、航空航天、消费电子等领域的创新应用，推动了科技的跨界融合。此外，本课程还强调了学术诚信的重要性，对学生的出勤率、课堂表现、作业提交和课堂互动有明确的要求。学生需要遵循课堂秩序，例如手机静音、电脑关机等，以保证课堂秩序和教学效果。在参考书方面，课程推荐了《微纳传感器及其应用》一书，由朱勇和张海霞编著，该书详细介绍了微纳传感器的相关知识，是学生深入研究微纳器件不可或缺的教材。北京大学的微纳器件及其应用课程，不仅教授微纳器件的基本知识，还注重学生的实践能力培养和创新能力开发，体现了微纳技术在现代科技中的重要地位。同时，课程内容强调了微纳技术的历史发展、中国在该领域的发展情况以及与世界的竞争态势，为学生提供了广阔的科技视野。