等离子体可以通过多种方式来产生,常见的方法主要包括:热电离法、射线辐照法、光电离法、激波等离子法、激光等离子法和气体放电法等。气体放电指气体在电场作用下被击穿引起的导电现象,而低温等离子体的产生主要通过气体放电实现。主要介绍三种气体放电产生低温等离子体的方式:1. 辉光放电:低压放电现象,产生大体积的低温等离子体,需维持低气压。2. 电晕放电:在不均匀电场中进行,常压下可进行但密度低,工业应用限制。3. 介质阻挡放电:通过绝缘介质防止电弧放电,在常压下高效产生低温等离子体,控制性强,能量利用率高,可操作性好。该技术在大气污染物处理中尤为适用,且设备设计可根据应用需求进行优化。