集成单电子晶体管SET（Single Electron Transistor）与射频共振电路的射频单电子晶体管RF SET（Radio Frequency Single Electron Transistor）是一种高速高灵敏的电荷计。通过建立RF SET的等效电路模型, 对共振电路及其与射频传输线的集成进行模拟分析, 得到了SET阻抗的最佳匹配, 获得了所需的谐振频率、品质因子和对SET阻抗的灵敏度。结果表明, 受电荷调制的SET阻抗直接影响着共振电路的品质因子、阻抗和射频透射/反射系数。射频信号随着SET的阻抗降低而减小, 峰位基本不变。在SET阻抗小于200 kΩ时, 共振信号幅度随阻抗的变化率较大。透射式与反射式两种结构相比, 前者共振频率及品质因子更高, 后者则具有更高的灵敏度优势。