导读: MOCVD技术在半导体材料和器件及薄膜制备方面取得了巨大的成功。尽管如此,MOCVD仍是一种发展中的半导体超精细加工技术,MOCVD技术的进一步发展将会给微电子技术和光电子技术带来更广阔的前景。 一、引言 近年来,随着半导体工业的发展以及高速光电信息时代的来临,LPE、VPE等技术在半导体业生产中的作用越来越小;MBE与MOCVD技术相比,由于其设备复杂、价格更昂贵,生长速度慢,且不适pC-长含有高蒸汽压元素(如P)的化合物单晶,不宜于工业生产。而金属有机物化学气相淀积(MOCVD),1968年由美国洛克威公司的Manasevit等人提出制备化台物单晶薄膜的一项新技术;到8