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石墨烯具有优异的力学、电学和热学性能,是制作微纳器件的理想材料。基于石 墨烯的纳谐振器由于其低功耗、高灵敏度和高机械谐振频率等优势,在传感器、赫兹信号发生器和高频信号处理领域有广泛的应用前景。然而,由于石墨烯加工工艺和成本的限制,实际制备的石墨烯不可避免的含有空位、吸附原子、晶界等大量缺陷,缺 陷会

COMSOL Multiphysics 是一款大型的高级数值仿真软件，由瑞典的 COMSOL 公司开发，广泛应用于各个领域的科学研究以及工程计算，被当今世界科学家称为“第一款真正的任意多物理场直接耦合分析软件”，适用于模拟科学和工程领域的各种物理过程，COMSOL Multiphysics以高效的计

Comsol等离子体模块是用于模拟低温等离子体源或系统的专业用具。借助这个模块，工程师或科学家可以探究物理放电机理或用于评估现有或未来设计的性能。