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集成电路制造工艺——金属化与多层互连 集成电路制造工艺——光刻与刻蚀工艺 集成电路制造工艺——外延 集成电路制造工艺——化学气相沉积 集成电路制造工艺——外延 集成电路制造工艺——化学气相沉积 集成电路制造工艺——离子注入 集成电路制造工艺——扩散 集成电路制造工艺——氧化