磁控溅射镀膜技术发展 摘 要:磁控溅射由于其显著的优点应用日趋广泛,成为工业镀膜生产中最主要的技术之一,相应的溅 射技术与也取得了进一步的发展。 非平衡磁控溅射改善了沉积室内等离子体的分布,提高了膜层质量;中 频和脉冲磁控溅射可有效避免反应溅射时的迟滞现象,消除靶中毒和打弧问题,提高制备化合物薄膜的 稳定性和沉积速率;改
GB187082002家用太阳热水系统热性能试验方法 本标准规定了家用太阳热水系统在没有辅助加热时的热性能测试步骤。本标准适用于贮热水箱容积在0.6m'以下,仅用太阳能的家用热水系统。本标准不适用于同时进行辅助加热的太阳热水系系统的试验