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本书介绍了薄膜物理学的基础知识,包括各种制备方法和薄膜的性质。详细讲解了各种薄膜的制备技术、表面形貌和内部结构等关键因素,以及薄膜在纳米器件、光学器件、传感器等领域的应用。同时,还介绍了薄膜中的电荷转移、介电材料、电介质和电子束等方面的知识。