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本文通过对CdZnTe单晶表面质量的表征研究，探究了CdZnTe单晶表面质量问题，并详细介绍了Au与CdZnTe欧姆电极的制备与分析技术。结果表明，所制备出的欧姆电极具有良好的电性能以及优异的稳定性，为CdZnTe单晶表面的质量研究提供了重要的参考。