SEMI E840301SPECIFICATION FOR ENHANCED CARRIER HANDOFF.pdf 设备自动化协会标准文档,半导体制造行业自动运输系统需要遵守的通讯标准。自99年在E23的基础上制定了E84后,E84逐渐成为主流,开发必备。
SEMI E840301SPECIFICATION FOR ENHANCED CARRIER HANDOFF.pdf 设备自动化协会标准文档,半导体制造行业自动运输系统需要遵守的通讯标准。自99年在E23的基础上制定了E84后,E84逐渐成为主流,开发必备。