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一种晶圆撕金去胶清洗装置,其特征在于:包括浸泡单元(1)、对中盒站单元(5)、去 胶单元(3)、清洗单元(4)、机器人(2)和工作台(23),机器人(2)设置于工作台(23)中部, 所述浸泡单元(1)、对中盒站单元(5)、去胶单元(3)和清洗单元(4)均设置于所述工作台 (23)上并环设于所述机器人