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本文主要围绕小尺寸MOS器件的电性能进行分析和优化。通过对器件的电阻和电容进行建模和仿真，提出了一些有效的优化策略，包括改进材料、调整MOS结构等方面。同时，也对MOS器件的工作原理及其在实际应用中的意义进行了深入探讨。