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MEMS与微系统 第三章微系统制造技术 (四)其他技术与工艺集成 目录： 其他微加工技术 „三维MEMS结构 „工艺集成 „封装

ppt为哈尔滨工业大学MEMS课件之一，需要的自取 课程主要内容： 微系统概述 微机电系统功能材料 微机械制造技术 微机械执行器 微机械传感器 微机械弱信号检测与处理 设计与软件介绍

早在二十世纪六十年代，在硅集成电路制造技术发明不久，研究人员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性，制造微型机械部件，如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块硅片上，就是微机电系统——MEMS:MicroelectromechanicalSystem。