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这是本人10年北大暑期学校关于MEME/NEMS前沿技术讲座的全部课件~其中包括了北大、清华、以及美国、新加坡、台湾、香港各著名大学中在MEMS和NEMS领域相关的华人教授们的精彩讲座~ 内容涉及基本原理~基础加工工艺~设计理念~以及在各行各业的应用实例与前景~ 对于MEMS/NEMS技术的入门者来

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