SECSEmulatorsecsgem调试工具 ITRICIMEmulator能够读取SML档案,主要功能是用来测试半导体设备的通讯功能,它支持SECS-I/SECS-II/HSMS-SS通讯协议,支持SML格式,具有强大易用的自动化测试功能,免安装即拷即用。使用前需要先将RS232连接线接好运行软件,选择检视。在设定SECS-I对话窗口中输入相