3D封装与硅通孔TSV工艺技术 3D封装与硅通孔TSV工艺技术,通过硅通孔(TSV)铜互连的立体(3D)垂直整合,目前被认为是半导体行业最先进的技术之一。硅片通孔(TSV)是三维叠层硅器件技术的最新进展。 TSV是一种重要的开发技术,其利用短的垂直电连接或通过硅晶片的“通孔”,以建立从芯片的有效侧到背面的电连接。TSV提供最短的互