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本文所设计的D07 系列流量控制器属于 一种工业自动化仪表, 可以对各种气体进行精 确的测量和控制, 大量应用于半导体及集成电 路生产线上的扩散、氧化、外延、CVD 等离子刻 蚀等工序设备中. 目前的设计方法主要是采用 传统的Pr otel 设计、制版、焊接和调试, 各个环 节分步进行, 设计效率低

在调幅波的接收过程中, 离不开解调器的参与, 而同步解调器以其高灵敏度、优良的双平衡特性和 小的失真而在集成电路中应用广泛。而任何解调器的噪声增益是衡量其性能的一个重要指标。在同步 解调过程中, 噪声干扰主要来源于晶体管的热噪声、闪烁噪声及寄生电容。一个良好的解调器, 噪声增 益应尽可能小。本文结合