ECR等离子体辅助双靶双激光共烧蚀制备AlxGa1-xN薄膜,蔡华,游庆虎,介绍一种以Al和GaAs为靶材料,用等离子体辅助反应脉冲激光沉积方法制备GaN(x=0)、AlN(x=1)和AlxGa1-xN薄膜的方法。我们在ECR氮等离子体环�