ECR氮等离子体的发射光谱和朗缪尔探针诊断,张洪宾,陈俊芳,首先利用光栅光谱仪对微波ECR氮等离子体发射光谱进行了研究,然后采用朗缪尔双探针测量了装置反应室内等离子体密度的空间分布,并