600V新型槽栅内透明集电极IGBT的仿真研究,贾云鹏,张惠惠,针对低压透明集电极绝缘栅双极晶体管(ITC-IGBT)制造难度高的问题,基于内透明集电极(ITC)技术,将点注入局部窄台面(PNM)槽栅结�