光杠杆式nm级微位移激光测量系统的研究

xuzhen38550 25 0 PDF 2019-05-31 22:05:25

对传统光杠杆测量微小位移的原理进行改进,可以将微位移量放大100量级以上,测量系统的理论分辨率为4nm、实测分辨率小于10nm

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