重力场卫星加速度计读取电路设计simulink

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提出了一种基于MEMS体硅技术的新型高对称结构共振微束加速度计,并给出了该方案的一些数值模拟结果。 加速度计包括两个质量块,四个支撑铰链,两个锚和一个振动三重梁,该梁在两端都被夹持在两个质量块上。 选

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微机械加速度计的设计、模拟及力学分析中国科学院力学研究所硕士学位论文专业：固体力学