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选型表:MEMS惯性传感器
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MEMS红外传感器电子封装报告
摘要 传感器半导体技术的开发成果日益成为提高传感器集成度的一个典型途径,在很多情况下,为特殊用途的MEMS(微机电系统)类传感器提高集成度的奠定了坚实的基础。 本文介绍一个MEMS光热传感器的封装结构
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29 2020-12-12 -
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