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这项研究提出了一个单一的质量块CMOS-MEMS加速度计，带有集成的三轴传感电极阵列。本研究采用平面指型和平面外板式间隙闭合传感电极。采用标准TSMC0.35Pm2P4MCMOS工艺和内部后CMOS工

MEMS加速度计终于达到了能够测量广泛机器平台振动的阶段。其最近的能力进步，加上MEMS加速度计已有的相对于传统振动传感器的诸多优势（尺寸、重量、成本、抗冲击性、易用性），促使一类新兴的状态监控（CB

加速度计能够测量加速度、倾斜、振动或冲击，因此适用于从可穿戴健身装置到工业平台稳定系统的广泛应用。市场上有成百上千的加速度计器件可供选择，其成本和性能各不相同。

基于DTC-LS的加速度计动态模型参数辨识.pdf,加速度计动态模型对描述和分析其动态特性具有重要作用。针对加速度计绝对法冲击激励校准中未知延迟时间对加速度计动态模型参数辨识精度的影响，提出了一种基于

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计步器是一种颇受欢迎的日常锻炼进度监控器，可以激励人们挑战自己，增强体质，帮助瘦身。早期设计利用加重的机械开关检测步伐，并带有一个简单的计数器。晃动这些装置时，可以听到有一个金属球来回滑动，或者一个摆

石英挠性加速度计是导航与制导系统中常用的一种惯性元件,其表头阻尼影响加速度计的动态性能但相关研究却鲜有报道,基于此提出一种适用于石英挠性加速度计的压膜阻尼分析方法。根据石英摆片的形状和转动规律建立雷诺

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传统维护一般是预防性或纠正性维护,通常会占用很大一部分生产成本。现在,使用IIoT(工业物联网)监测机器的健康状态有助于实现预测性维护,让行业人员能够预测故障,从而大幅节省运营成本。