微型惯性测量组合包括微型陀螺仪和微型加速度计，是MEMS技术在惯性技术领域成功应用。与传统的惯性器件相比，MIMU在设计、材料和制造等方面都采用了全新的、革命性的工艺和方法，使其具有前所未见的小体积和重量、商业级的低价格、极高的可靠性和寿命。MIMU的这些特点使得惯性测量技术的应用从不计成本的军事领域扩展到市场广阔的民用、商用领域。