1失效分析能力要求51.1失效分析设备要求51.2失效分析实验室环境要求72失效分析流程72.1流程图72.2确定失效问题82.3失效样品背景信息调查92.4故障复现和故障位置的定位92.5无损分析92.5.1外观分析92.5.2X-ray92.5.3C-SAM102.5.43D测量仪102.6对可能的失效原因假设102.7分析和验证102.8给出失效原因和失效机理102.9重现试验102.10改进措施112.11后续跟踪113常见的失效方法113.1外观分析113.2机械结构尺寸测量123.3电测133.4染色起拔13