有关基于硅材料的微机电系统的材料选取、工艺流程以及设计
文章介绍了MEMS的一些特点;
MEMS惯性传感器在当今的众多个人电子设备中发挥着重要作用。 小尺寸、低功耗、易集成、强大功能性和卓越性能,这些因素促使着智能手机、游戏控制器、活动跟踪器、数码相框等装置不断创新。
如何利用Zemax进行MEMS设计,通过学习可以了解简单的zemax建模mems
MEMS-An_Introduction_to_Microelectromechanical_Systems_Engineering-2nd_edition-eBook_LiB-Artech_Hous
MEMS传感器技术文档
RF MEMS振荡器介绍Vibrating RF MEMS for Timing and Frequency References Wan-Thai Hsu Discera,Ann Arbor,MI4
MEMS建模--从设计到制造MEMS建模--从设计到制造作者：飞思卡尔半导体公司MargaretKniffin,ToddMiller德国开姆尼茨工业大学JanMehner日期：2009年9月21日）微
IEEE上的 Design, Fabrication and Evaluation of a MEMS-Based, Ka-Band, 16-Element Sub-Array
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