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外差激光干涉仪非线性误差分析及测量
对外差激光干涉仪中的非线性误差理论进行了综述,着重分析了一阶、二阶非线性误差的形成机理、非线性误差的大小及表现形式,并对非线性误差检测和补偿方法的研究进展进行了详细阐述和分析,指出了各类方法的应用特点
13 2021-02-16 -
测量微观不平度的90°相移激光干涉仪
叙述了测量微观不平度的90°相移激光干涉仪的原理和构成。对这种新型干涉仪的性能及有关问题作了讨论。测量结果的计算和样品扫描的控制,由个人计算机完成。垂直分辨率达1um,横向分辨率达10μm。实验结果证
10 2021-02-19 -
单块平板型横向剪切干涉仪及其应用
激光光源和一块平面平行板组合,就可构成横向剪切干涉仪。利用此干涉仪可定量确定激光(0.63微米及1.06微米)光束波面的准直性、球面波曲率、波面象差以及评价透镜质量等。
13 2021-02-10 -
径向剪切干涉仪系统的研制与校准研究
为了测量超长焦距高功率激光系统的波前畸变,研制并校准了基于空间相位调制的径向剪切干涉仪。仪器采用多波长设计,满足可见光和红外探测的需要。为研制并校准径向干涉仪,同哈特曼夏克(HS)传感器、Zygo干涉
9 2021-02-09 -
调相激光干涉仪测量吸收薄膜参数的研究
本文介绍了调相激光干涉仪测量薄膜n,k,d的工作原理,探讨了单层吸收膜的测量参量P、Q、Δ与n,k,d的关系;相位差Δ的取值;测量参量的自校准以及P、Q和修正因子F的实验检验问题,给出了数据处理方法和
8 2021-02-09 -
用激光干涉仪聆听爱因斯坦交响乐
我们的宇宙是有声有色、充满活力的,但是在引力波发现之前,我们观察宇宙就像看无声电影,有点乏味。大家知道,天文学观测的基础是天体辐射,宇宙中最主要的天体辐射有两大类:电磁辐射(又叫电磁波)和引力辐射(又
8 2021-02-09 -
减小正弦相位调制菲佐干涉仪多光束干涉影响的方法
在利用正弦相位调制菲佐干涉仪进行测量时, 由于菲佐板及待测物体表面对入射光的多次反射而产生多光束干涉, 干涉信号的强度随相位变化不是严格的余弦分布。按照双光束干涉的算法进行相位信息提取, 会引入一定的
13 2021-03-26 -
相位干涉仪测向算法及其在TMS320C6711上的实现
相位干涉仪测向算法及其在TMS320C6711上的实现相位干涉仪测向算法及其在TMS320C6711上的实现摘要:对实施被动无源测向定位的主要工具之一的相位干涉仪进行了较为详细和系统的研究,给出了一维
11 2022-12-09 -
不同干涉仪检测光学元件功率谱密度的比较
为了探究不同干涉仪对中频误差的响应规律,获得相对真实的功率谱密度(PSD)分布,分别利用4D AccuFiz、ZYGO DynaFiz以及ZYGO GPI三台干涉仪检测周期性波纹和划痕样品,并对一维实
8 2021-02-01 -
温度对Fizeau干涉仪测量重复性的影响
高精度的重复性是保证检测精度的前提,也是精密检测中最重要的指标之一。在Fizeau干涉仪中,干涉腔对环境特别是温度的变化非常敏感,温度的变化和非均匀性是测量的主要误差来源,也是影响测量重复性的主要因素
7 2021-02-01
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