论文研究AZO薄膜电阻特性研究 .pdf

xin9707635 21 0 PDF 2019-09-15 05:09:17

AZO薄膜电阻特性研究,杨家棚,端木庆铎,采用原子层沉积(AtomicLayerDeposition,ALD)技术制备AZO薄膜。本文主要研究了ZnO循环百分比和退火时间对AZO薄膜电阻的影响,以及不同组�

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